หลักการสำคัญของเซ็นเซอร์ความแม่นยำสูง-อยู่ที่การแปลงปริมาณที่วัดได้ให้เป็นสัญญาณไฟฟ้าที่แม่นยำ เสถียร และเชื่อถือได้ผ่านการออกแบบที่แม่นยำ กระบวนการผลิตขั้นสูง อัลกอริธึมการประมวลผลสัญญาณที่ซับซ้อน และเทคนิคการชดเชยข้อผิดพลาดที่เข้มงวด ลักษณะสำคัญในการบรรลุความแม่นยำสูง ได้แก่: การเพิ่มประสิทธิภาพหลักการตรวจจับขั้นพื้นฐาน วัสดุประสิทธิภาพสูง- และโครงสร้างที่มีความแม่นยำ กระบวนการผลิตขั้นสูง (เช่น MEMS) สัญญาณรบกวนต่ำ- วงจรอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความแม่นยำสูง- การชดเชยอุณหภูมิ ความไม่เชิงเส้นและการทำให้เป็นเส้นตรง การสอบเทียบและการกำหนดมาตรฐาน การประมวลผลสัญญาณดิจิทัล และการปราบปรามและการป้องกันสัญญาณรบกวน แนวคิดหลักคือการทำความเข้าใจอย่างลึกซึ้งและระบุแหล่งที่มาของข้อผิดพลาดที่เป็นไปได้ทั้งหมดอย่างลึกซึ้ง และกำจัดหรือชดเชยข้อผิดพลาดเหล่านี้อย่างจริงจังผ่านการออกแบบฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์ร่วมกัน
ในด้านการผลิตและการตรวจสอบที่มีความแม่นยำ เซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง-ใช้สำหรับการวัดการเคลื่อนที่ มิติ และพื้นผิวที่มีความแม่นยำสูง- เช่น เซ็นเซอร์แบบสัมผัสชนิดปากกา GT2-P12KL- สำหรับการตรวจจับระดับไมครอน
ในด้านการควบคุมและการตรวจสอบกระบวนการ เซ็นเซอร์ที่มีความแม่นยำสูง-ถูกนำมาใช้ในสภาพแวดล้อมทางอุตสาหกรรมที่รุนแรง เช่น อุตสาหกรรมเคมีและพลังงาน สำหรับการตรวจสอบพารามิเตอร์กระบวนการหลักๆ ที่มีความน่าเชื่อถือสูง เช่น ความดัน อุณหภูมิ และอัตราการไหล เช่น เซ็นเซอร์ความดันที่มีความแม่นยำสูง ซีรีส์ PX409 ของ OMEGA-
